氩气回收系统是应用于单晶硅炉、气氛炉、3D打印等的一种回收装置。该装置是把经过炉体的被污染氩气通过气罐缓冲、低压螺杆机压缩、低压储存、过滤、除水、除油,然后进入纯化器提纯至99.999%,最终通过增压机增压至一定压力的回收系统,依次循环。
特点:采用全自动PLC控制、所有管道采用不锈钢、纯化器提纯效率高、回收率高、压缩单元稳定输出、操作方便、性能可靠、维修成本低,有效的降低风险、提供使用的工作效率。