产品简介:
处理气量:(1-1000)Nm3/h
压力:≤1.0Mpa
氩气纯度:≥99.999%
露点:≤-70℃
纯氩含氧量:≤1.5ppm
广泛应用于:
光纤,单晶硅,多晶硅行业等氩气的回收及纯化。
单晶硅行业氩气回收(氩气回收率≥95%)
根据单晶炉工作运行的工序,真空泵抽出的回收氩气由阀进入到氩气回收设备。回收气*经过鼓风机进入到进气储罐,然后再进入到预处理设备,除去里面的油份和杂质。然后进入以下氩气纯化设备单元,根据各个工艺将里面的杂质一一去除,然后使得回收气气体纯度达到所需要求,进一步循环利用。